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Lens Surface Distance Measurement with Large Range and High Precision Based on Low Coherence Interferometry
Shi ZH(师中华); Yang BX(杨宝喜); Hu XB(胡小邦); Jin CQ(金超群); Wei ZF(魏张帆); Li J(李璟); Huang HJ(黄惠杰); szh@mail.ustc.edu.cn; yangbx@siom.ac.cn
2016
发表期刊光学学报
卷号36期号:6页码:612001
摘要The distance measurement of optical mirror surfaces based on low coherence interferometry is described. The system realizes lens surface distance measurement with high precision,by first using double microelectromechanical systems(MEMS)switches to multiply enlarge the measuring range,secondly by using co-lightpath laser ranging structure to realize the displacement measurement of the scanning mirror,and thirdly by using the envelope extraction algorithm to obtain the zero light path difference location of low coherence light interference signal.The whole measurement system has an all-fiber structure.Lens surface distances of Invar gauge,optical system with large air gap and optical lens group are measured with this system.Under the condition of the scanning range of 300mm,distance measurement within the range of 0.02~550mm by using MEMS switches is realized, and the experimental results indicate that the system possesses high measurement accuracy below 0.5mum.Such a measurement system has important applications in optical testing and optical alignment of high precision optical systems,such as lithography exposure system,aerial camera,and laser resonator.
文章类型Article
其他摘要描述了利用低相干干涉技术实现光学镜面间距测量的方法。首先,采用微机电系统(MEMS)光开关多通道延迟结构实现测量范围的多倍增,然后通过共光路激光测距结构实现扫描反射镜的位移测量,再利用包络提取算法对低相干干涉信号的零光程差位置进行定位,最后实现镜面间距的高精度测量。实验测量系统为全光纤结构,利用该系统完成了对因瓦合金(Invar)标准块、大间距光学结构和光学镜组的镜面间距测量,在导轨扫描量程为300mm的条件下,实现了在0.02~550mm范围内的镜面间距测量,测量精度优于0.5mum。该套系统可用于光刻
部门归属信息光电
DOI10.3788/AOS201636.0601002
资助者国际科技合作专项; 国家科技重大专项 ; 国际科技合作专项; 国家科技重大专项 ; 国际科技合作专项; 国家科技重大专项 ; 国际科技合作专项; 国家科技重大专项
收录类别CSCD
资助者国际科技合作专项; 国家科技重大专项 ; 国际科技合作专项; 国家科技重大专项 ; 国际科技合作专项; 国家科技重大专项 ; 国际科技合作专项; 国家科技重大专项
WOS记录号CSCD:5735050
CSCD记录号CSCD:5735050
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被引频次:2[CSCD]   [CSCD记录]
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/28501
专题信息光学与光电技术实验室
通讯作者szh@mail.ustc.edu.cn; yangbx@siom.ac.cn
作者单位中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
Shi ZH,Yang BX,Hu XB,et al. Lens Surface Distance Measurement with Large Range and High Precision Based on Low Coherence Interferometry[J]. 光学学报,2016,36(6):612001.
APA 师中华.,杨宝喜.,胡小邦.,金超群.,魏张帆.,...&yangbx@siom.ac.cn.(2016).Lens Surface Distance Measurement with Large Range and High Precision Based on Low Coherence Interferometry.光学学报,36(6),612001.
MLA 师中华,et al."Lens Surface Distance Measurement with Large Range and High Precision Based on Low Coherence Interferometry".光学学报 36.6(2016):612001.
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