SIOM OpenIR  > 中科院强激光材料重点实验室
Tool influence function in aspheric polishing under dynamic pressure distribution
Li XY(李徐钰); Wei CY(魏朝阳); Xu WD(徐文东); Shao JD(邵建达)
2016
发表期刊光学精密工程
期号12页码:3061
摘要By taking the effect of Tool Influence Function(TIF) used in the NC program on the polishing accuracy for optical elements into account, the method how to obtain the optimized TIF based on the aspheric parameters to be polished and polishing pad parameters is proposed. As the key to calculate the TIF of aspheric elements is to obtain accurately the dynamic pressure distribution between polishing pad and mirror, this paper analyzes the pressure distribution between polishing pad and mirror by finite element method and obtains the TIFs in different positions on the aspheric surface by classic Preston equation and planet motion. The variation tendency of the pitch polishing pad in polishing an aspheric element is analyzed in different polishing positions based on the dynamic pressure distribution model. The TIF spot experiment is carried out on an aspheric element with a curvature of 1 000 mm. The result shows that the shape of TIF simulated by the theory introduced in the paper is more similar with that of the actual situation, and the Pearson correlation coefficient reaches 0.977. It concludes that the method can obtain the pressure distribution conveniently by changing the parameter of polishing position and can optimize the TIFs, which provides a theoretical basis for improving polishing efficiency and polishing accuracy. ? 2016, Science Press. All right reserved.
其他摘要考虑去除函数对数控小工具抛光光学元件精度的影响,提出了如何根据需要加工的非球面参数以及抛光盘参数得到最优去除函数的方法。由于计算非球面上去除函数的核心是准确获得抛光盘与镜面间的动态压力分布,本文提出利用有限元法仿真抛光盘与非球面间的压力分布,并结合经典Preston方程与行星运动模型来得到非球面不同位置处的去除函数。基于随动压力分布模型,分析了沥青盘抛光非球面时在不同抛光位置处去除函数的变化。在曲率半径为1 000mm的球面上进行了去除函数验证实验。结果表明:基于本文理论得到的去除函线型更接近实际情况,皮
部门归属材料
DOI10.3788/OPE.20162412.3061
资助者中国科学院青年创新促进会科研基金资助项目;; 国家重大科技专项资助项目 ; 中国科学院青年创新促进会科研基金资助项目;; 国家重大科技专项资助项目
资助者中国科学院青年创新促进会科研基金资助项目;; 国家重大科技专项资助项目 ; 中国科学院青年创新促进会科研基金资助项目;; 国家重大科技专项资助项目
引用统计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/28205
专题中科院强激光材料重点实验室
作者单位中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
Li XY,Wei CY,Xu WD,et al. Tool influence function in aspheric polishing under dynamic pressure distribution[J]. 光学精密工程,2016(12):3061.
APA 李徐钰,魏朝阳,徐文东,&邵建达.(2016).Tool influence function in aspheric polishing under dynamic pressure distribution.光学精密工程(12),3061.
MLA 李徐钰,et al."Tool influence function in aspheric polishing under dynamic pressure distribution".光学精密工程 .12(2016):3061.
条目包含的文件
条目无相关文件。
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[李徐钰]的文章
[魏朝阳]的文章
[徐文东]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[李徐钰]的文章
[魏朝阳]的文章
[徐文东]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[李徐钰]的文章
[魏朝阳]的文章
[徐文东]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。