SIOM OpenIR  > 信息光学与光电技术实验室
轴锥镜锥角检测方法研究
魏张帆; 袁乔; 张运波; 曾爱军; 黄惠杰
2016
Source Publication第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
Department信息光电
Abstract1.引言轴锥镜是一种旋转对称角锥形光学元件,由于它长的焦深以及窄的横向宽度,被广泛应用于成像光学系统、激光束整形等方面。在投影光刻机中,轴锥镜可以将传统照明模式转换成环形照明模式,是其照明系统的核心元器件之一,加工过程中需要精确地检测其锥角大小。本文提出了一种利用自准直电子经纬仪检测轴锥镜锥角大小的方法,此方法操作简单、可检测任意锥角,且可以给出锥角大小的分布。
Language中文
Document Type会议论文
Identifierhttp://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27475
Collection信息光学与光电技术实验室
Affiliation中国科学院上海光学精密机械研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
魏张帆,袁乔,张运波,等. 轴锥镜锥角检测方法研究[C],2016.
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