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横向剪切干涉快速模式法波前重建方法
李杰; 王向朝; 唐锋; 郑垠波; 巴荣声; 周信达; 丁磊; 袁静; 陈波; 郑万国
2016
Source Publication第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
Department信息光电
Abstract横向剪切干涉技术利用待测波前与其自身横向平移后的波前发生干涉,不需要参考波前,具有测量范围大、对振动不敏感等优点,在超大规模集成电路制造、惯性约束聚变、眼科学等领域得到了重要应用。由于横向剪切干涉技术测量的是待测波前在剪切方向上的斜率(差分波前),需要使用波前重建技术从差分波前中恢复待测波前。已有的波前重建技术主要分为模式法和区域法两类,其中模式法具有较好的抗噪
Language中文
Document Type会议论文
Identifierhttp://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27460
Collection信息光学与光电技术实验室
Affiliation中国科学院上海光学精密机械研究所
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GB/T 7714
李杰,王向朝,唐锋,等. 横向剪切干涉快速模式法波前重建方法[C],2016.
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