KMS Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, CAS
| 基于LIBS的光学玻璃微量杂质三维分布检测技术 | |
| 张海裕; 步扬; 郑臻荣; 徐静浩; 王向朝 | |
| 2016 | |
| Source Publication | 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集 |
| Department | 信息光电 |
| Abstract | 高精密、高功率光学系统中的光学玻璃所含杂质会严重影响光学系统性能,如光学玻璃研磨抛光后,表面残留液会严重影响高功率光学系统光束质量,甚至导致光学器件损伤。为了保证高精密、高功率光学系统的性能,必须对光学玻璃中存在的杂质进行检测。X射线荧光仪等传统元素检测方法所能检测的元素种类有限且易受干扰。激光诱导击穿光谱技术(LIBS)作为一种新型元素分析技术,具有样品无需准 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 会议论文 |
| Identifier | http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27459 |
| Collection | 信息光学与光电技术实验室 |
| Affiliation | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张海裕,步扬,郑臻荣,等. 基于LIBS的光学玻璃微量杂质三维分布检测技术[C],2016. |
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