KMS Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, CAS
| 子孔径拼接在米量级平面光学元件面形误差检测中的应用 | |
| 周游; 刘世杰; 白云波; 张志刚; 邵建达 | |
| 2016 | |
| Source Publication | 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集 |
| Department | 材料 |
| Abstract | 应用于高功率激光装置中的光学元件具有尺寸大、精度高、数量多等特点,包括偏振片、钕玻璃片、反射镜以及脉冲压缩光栅等大口径平面光学元件,其中大部分光学元件为矩形,外形尺寸(对角线)都接近甚至超过了米量级。利用大口径平面干涉仪(口径最大到Φ800mm),基于斜入射的测量方法可以满足部分口径小于1m的矩形光学元件面形以及反射波前误差的检测,但是对于元件尺寸超过1m的光学元件,例如 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 会议论文 |
| Identifier | http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27421 |
| Collection | 中科院强激光材料重点实验室 |
| Affiliation | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 周游,刘世杰,白云波,等. 子孔径拼接在米量级平面光学元件面形误差检测中的应用[C],2016. |
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