SIOM OpenIR  > 光学薄膜技术研究与发展中心
气体原子对多层膜X射线反射特性的影响
冯仕猛; 赵海鹰; 范正修; 邵建达; 窦晓鸣
2002
Source Publication中国科学. A辑, 数学
Volume32Issue:10Pages:865
Abstract多层膜中气体原子能够增加入射X射线散射,减低多层膜衍射反射率。当薄膜有气体原子存在时,通常用平均散射因子代替本体材料散射因子计算薄膜的光学常数,这样的处理方法是非常简单的。鉴于此,提出了一新方法研究气体原子对薄膜X射线反射特性的影响。理论分析表明:气体原子对薄膜反射特性的影响与掠入射角度,波长有关。波长越短和掠入射角度越大,气体原子的影响就越大,反之就越小,实验结果证明理论分析是正确的。
SubtypeArticle
Funding Organization国家八六三基金资助项目 ; 国家八六三基金资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
Funding Organization国家八六三基金资助项目 ; 国家八六三基金资助项目
CSCD IDCSCD:1074754
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Document Type期刊论文
Version出版稿
Identifierhttp://ir.siom.ac.cn/handle/181231/18012
Collection光学薄膜技术研究与发展中心
Affiliation1.冯仕猛, 上海交通大学物理系, 上海 200240, 中国.
2.赵海鹰, 上海交通大学物理系, 上海 200240, 中国.
3.窦晓鸣, 上海交通大学物理系, 上海 200240, 中国.
4.范正修, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国.
5.邵建达, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800, 中国.
Recommended Citation
GB/T 7714
冯仕猛,赵海鹰,范正修,等. 气体原子对多层膜X射线反射特性的影响[J]. 中国科学. A辑, 数学,2002,32(10):865.
APA 冯仕猛,赵海鹰,范正修,邵建达,&窦晓鸣.(2002).气体原子对多层膜X射线反射特性的影响.中国科学. A辑, 数学,32(10),865.
MLA 冯仕猛,et al."气体原子对多层膜X射线反射特性的影响".中国科学. A辑, 数学 32.10(2002):865.
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气体原子对多层膜X射线反射特性的影响.p(323KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SAApplication Full Text
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