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半导体激光微小振动实时反馈式干涉测量仪
Alternative TitleA Laser Diode Interferometer with a Feedback Control System for REal-time Micro-vibration Measurements
宋松; 王向朝; 王学锋; 钱锋; 陈高庭
2002
Source Publication中国激光
Volume29Issue:5Pages:402
Abstract提出了一种带有反馈系统的半导体激光正弦相位调制干涉仪。该干涉仪可以实现对微小振动的高精度实时测量。通过一个简单的信号处理系统对干涉信号进行分析,获得实际振动的振幅和频率。由于引入反馈系统,减低了测量误差,排除了环境噪声影响。给出了具体的理论分析和实验结果。
SubtypeArticle
Other AbstractA laser diode interferometer with a feedback control system for micro-vibration measurement is proposed. The interferometer can be used to measure micro-vibration of an object with high accuracy in real-time. The interference signal is processed with a simple signal processing system and the amplitude and frequency of the vibration are obtained. The measurement errors are decreased with a feedback system. The theoretical analysis and experimental results are given.
Funding Organization国家自然科学基金(编号:69978024) ; 上海市应用材料研究与发展基金资助项目 ; 国家自然科学基金(编号:69978024) ; 上海市应用材料研究与发展基金资助项目
Indexed ByEI
Language中文
Funding Organization国家自然科学基金(编号:69978024) ; 上海市应用材料研究与发展基金资助项目 ; 国家自然科学基金(编号:69978024) ; 上海市应用材料研究与发展基金资助项目
Document Type期刊论文
Version出版稿
Identifierhttp://ir.siom.ac.cn/handle/181231/17909
Collection信息光学开放实验室
Affiliation1.宋松, 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室, 上海 201800, 中国.
2.王向朝, 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室, 上海 201800, 中国.
3.王学锋, 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室, 上海 201800, 中国.
4.钱锋, 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室, 上海 201800, 中国.
5.陈高庭, 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室, 上海 201800, 中国.
Recommended Citation
GB/T 7714
宋松,王向朝,王学锋,等. 半导体激光微小振动实时反馈式干涉测量仪[J]. 中国激光,2002,29(5):402.
APA 宋松,王向朝,王学锋,钱锋,&陈高庭.(2002).半导体激光微小振动实时反馈式干涉测量仪.中国激光,29(5),402.
MLA 宋松,et al."半导体激光微小振动实时反馈式干涉测量仪".中国激光 29.5(2002):402.
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